特許

J-GLOBAL ID：200903079944424289

SF6ガス回収精製装置

発明者： 佐藤 隆由紀
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 紋田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-052574
公開番号（公開出願番号）：特開平10-230124
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 電気機器内で発生した分解生成物を含むSF6ガスを適正に回収し精製することができるSF6ガス回収精製装置を提供することである。【解決手段】 電気機器(ガス絶縁開閉装置1)の内圧が大気圧程度以上のときは、その内圧により電気機器(ガス絶縁開閉装置1)内のSF6ガスを精製筒5に供給し、電気機器(ガス絶縁開閉装置1)の内圧が大気圧程度以下のときは、真空ポンプ4を起動して電気機器(ガス絶縁開閉装置1)内部に残留する残留ガスを精製筒5に供給する。

請求項（抜粋）：

電気機器のSF6ガスをその内圧により大気圧程度になるまで回収し、前記SF6ガスに含まれる分解生成物を精製筒で除去して精製し再利用するようにしたSF6ガス回収精製装置において、前記電気機器の内圧が大気圧程度になった場合に前記電気機器内部に残留する残留ガスを前記精製筒に供給するための真空ポンプを備えたことを特徴とするSF6ガス回収精製装置。

IPC (3件)：

B01D 53/00 ,  H01B 3/16 ,  H02B 13/055

FI (3件)：

B01D 53/00 ,  H01B 3/16 ,  H02B 13/06 M