2端子非線形素子及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298750
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146123
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 2端子非線形素子を構成するMIM構造において、下部電極端部の近傍の絶縁体膜は、製造工程で生じる静電気によって絶縁破壊され易い。このような絶縁破壊は、表示画面上の点欠陥を招いて表示品位を低下させ、液晶表示装置の製造歩留まりを低下させるので、2端子非線形素子の耐圧を向上させて静電気による破壊を低減する。【解決手段】 MIM構造を有する2端子非線形素子において、MIM構造を構成する絶縁体膜を2回の陽極酸化工程と1回の上部電極形成工程とによって形成して、絶縁体膜のうちで絶縁破壊され易い下部電極端部に位置する部分を厚膜化する。

請求項（抜粋）：

お互いに対向して配置されていてその間隙に液晶が封入されている一対の基板と、該一対の基板の少なくとも一方の基板において他方の基板に対向する面の上にマトリクス状に設けられている複数の画素電極と、を備えている液晶表示装置に含まれていて、該複数の画素電極にそれぞれ接続されて該画素電極を駆動する2端子非線形素子であって、該2端子非線形素子は、該基板の上に設けられている信号配線に接続されている下部電極と、該下部電極の表面に形成されている絶縁体膜と、該絶縁体膜を介して該下部電極に対向するように形成されていて該画素電極に接続されている上部電極と、を備えていて、該絶縁体膜は、該上部電極と該下部電極とに挟まれている第1の部分と、該上部電極の周囲に相当する領域に存在して該第1の部分に比べて厚さが厚い第2の部分と、を含んでいて、該絶縁体膜の該第1の部分及び該第2の部分が、陽極酸化によって形成された同一の金属酸化物膜である、2端子非線形素子。

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