特許

J-GLOBAL ID：200903079961517452

水切り洗浄方法および水切り洗浄装置

発明者： 岩瀬 恵美 ,  稲田 実
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-096187
公開番号（公開出願番号）：特開平5-293304
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【目的】 水切り洗浄剤を用いて水洗後の被洗浄物の水置換を行う際に、水切り洗浄剤中に混入した水を有効に除去することを可能にすることによって、たえず安定した洗浄品質を得ることができる水切り洗浄方法を提供する。【構成】 洗浄槽1、3内の疎水性水切り洗浄剤D1 を循環させ、この循環経路中に設置した水吸収剤8により、疎水性水切り洗浄剤D1 中に混入した水を除去し、この水除去後の疎水性水切り洗浄剤を洗浄槽3に戻しつつ、表面に少なくとも水が付着した被洗浄物Xを水切り洗浄する。あるいは、使用後の疎水性水切り洗浄剤を再生槽に回収すると共に、再生槽内で該疎水性水切り洗浄剤中に混入した水を水吸収剤により除去する。

請求項（抜粋）：

表面に少なくとも水が付着した被洗浄物を、疎水性水切り洗浄剤を用いた洗浄槽で水切り洗浄するに際し、前記疎水性水切り洗浄剤を循環させ、この循環経路中に設置した水吸収剤により、該疎水性水切り洗浄剤中に混入した水を除去し、この水除去後の疎水性水切り洗浄剤を前記洗浄槽に戻しつつ、前記水切り洗浄を行うことを特徴とする水切り洗浄方法。

IPC (4件)：

B01D 12/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 361 ,  C11D 7/50