特許
J-GLOBAL ID：200903079962963650
微小片持はりのばね定数計測方法及びはり状体のばね定数計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
山田 勝重
, 山田 克巳
, 山田 博重
, 山田 智重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-342805
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286729
出願日： 2003年10月01日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】 AFM微小カンチレバー等の任意形状の微小片持はりその他はり状体のばね定数を、不活性ガスの流体力を利用して非接触かつ簡便に計測、評価できる計測方法を提供する。【解決手段】 カンチレバー10の探針11背面側からピペット12を接近させ、ピペット12からアルゴンガスを噴射してカンチレバー10に流体力を与える。カンチレバー10のバネ定数kをカンチレバー10に作用する力とカンチレバー10のたわみの比例係数として定義し、流体力Fとたわみの計測値waの関係からカンチレバー10のばね定数を求める。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
片持はり状に保持した微小片持はり先端平面に非活性ガス噴射体の噴射口を接近させて非活性ガスを一定または略一定流速で集中させかつ該微小片持はり先端平面に対して垂直に噴射し、該ガス流体力の利用により上記微小片持はりに非接触状態で安定した負荷を与え、上記微小片持はりのバネ定数kを該微小片持はりに作用する力と該微小片持はりのたわみの比例係数として定義し、流体力Fとたわみの計測値waの関係を、
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2G061AA07
, 2G061AB01
, 2G061BA08
, 2G061CA01
, 2G061CB01
, 2G061DA01
, 2G061EA01
, 2G061EA02
, 2G061EB07
, 2G061EC02
