特許
J-GLOBAL ID：200903079964001198
薬液の脱気方法及び脱気装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051131
公開番号（公開出願番号）：特開平11-244607
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：
【要約】【課題】 最終的に供給される薬液に気泡が混入しないように、効率良く、更に系内の圧力損失が低い薬液の脱気方法及び脱気装置を提供する。【解決手段】 薬液導入口21と薬液導出口31と排気口23、23が設けられた容器2と、容器2内に設けられ、気体透過性を有し、内径が50〜500μm、膜厚が10〜150μmの中空糸膜4、4、...の両端が開口状態を保ちながら固定部材5により固定された中空糸膜エレメント1とを備え、中空糸膜エレメント1の両端部が容器2の薬液導入口21及び薬液導出口31それぞれに接続されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
薬液の脱気を中空糸膜を用いて行う方法であって、気体透過性を有し、内径が50〜500μm、膜厚が10〜150μmの中空糸膜内に前記薬液を通液し、前記中空糸膜の外表面側を減圧することにより、前記薬液中の溶存気体を除去することを特徴とする薬液の脱気方法。
IPC (6件)：
B01D 19/00
, B01D 61/36
, B01D 63/02
, B01D 63/04
, B01D 69/08
, H01L 21/30
B01D 19/00 H
, B01D 61/36
, B01D 63/02
, B01D 63/04
, B01D 69/08
, H01L 21/30
