特許
J-GLOBAL ID：200903079964144290
難削材のベベリング加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-105759
公開番号（公開出願番号）：特開平6-315828
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【構成】 シリコンウエハAの外周エッジ部Bに電解液Dを塗布し、主電極3と補助電極4とを外周エッジ部Bに接触させるとともに、電解液Dを介して両電極3,4間に電圧を印加させ、主電極3の先端部に発生する放電熱により、外周エッジ部Bを研磨する際に、補助電極4として中空の円板状箱体5を使用するとともに、電解液Dの供給穴6が形成された一方の壁面に砥粒Gを含む不織布8を配置し、そして補助電極4より電解液Dを供給しながら不織布8を外周エッジ部Bに押圧することにより、外周エッジ部Bを研磨するベベリング加工方法である。【効果】 補助電極側に砥粒を含んだ不織布を設けたので、ウエハを電解研磨と同時に砥粒研磨も行うことができるので、ウエハの表面に、深い傷がある場合でも、確実に取り除くことができる。
請求項（抜粋）：
回転自在に支持された円板状の難削材の外周エッジ部に電解液を塗布し、この電解液が塗布された外周エッジ部に主電極と補助電極とを接触させるとともに、これら両電極間に電解液を介して電圧を印加させ、主電極の先端部に発生する放電熱により、上記難削材の外周エッジ部を研磨する際に、上記補助電極として中空にされかつ難削材との接触する側の壁面に電解液の供給穴が形成された円板状箱体を使用するとともに、この壁面に砥粒を含む不織布を配置し、かつ上記補助電極内に電解液を供給するとともに不織布側を外周エッジ部に押圧して難削材の外周エッジ部を研磨することを特徴とする難削材のベベリング加工方法。
IPC (3件)：
B23H 3/00
, B23H 9/02
, H01L 21/304 301
