焦点検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-284429
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105856
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】広視野での焦点検出を、検出領域内を自由に、しかも焦点検出対象に依らず高精度に行うことを可能にし、広視野本来の良さを、従来の狭視野と同様な手軽さで得られるようにする。【解決手段】広視野による焦点検出実現のために、必要な光量分布の補正と基準位置ずれ量の補正を共に行う演算構造を補正演算手段8,9に組み込み、分割した領域からの信号出力をこの演算補正手段で補正変換してから、光量分布の相対的な位置関係を検出する演算手段10に送り込むようにしている。

請求項（抜粋）：

対物レンズを通過した光束により複数の像に関する光量分布を形成する光学手段と、これら光量分布をサンプリングし離散的な信号出力として取り出す為のセンサ列と、該センサ列を複数の領域に分割する分割手段と、分割した領域の信号出力から光量分布の相対的な位置関係を検出する演算手段とを有する焦点検出装置において、前記演算手段に送り込まれる信号出力を補正変換する補正演算手段を具備し、該補正演算手段により、前記像に関する光量分布の歪を補正すると共に、前記光量分布が前記複数の領域のどの領域に位置しているかに依存した補正を行うようにしたことを特徴とする焦点検出装置。

IPC (2件)：

G02B 7/34 , G03B 13/36

FI (2件)：

G02B 7/11 C , G03B 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-163418
特開昭62-173412
特開昭63-163418

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