特許
J-GLOBAL ID：200903079968784006
位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-294812
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153663
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 代表点の数が減ったり、アライメントマークのスパンが広くとれなかったり、ウェハの反りやレジストの膜厚変化の影響を受けてアライメント精度が落ちることなく位置を合わせる。【構成】 高倍率ステッパーで作成したアライメントマーク60,70に対して低倍率ステッパーでグローバルアライメントを行なうとき、ウェハ上に高倍率ステッパーの1ショット30の4つ分が低倍率ステッパーの1ショット20で露光されていて、アライメントマークの位置を低倍率ステッパーの1ショット毎にショット中心に対して可変して使用する。
請求項（抜粋）：
縮小倍率が1/2から1である低倍率ステッパーと、該低倍率ステッパーよりも縮小倍率が高い高倍率ステッパーとを混用して露光工程を行なう場合における重ね合わせ露光時の位置合わせ方法において、前記高倍率ステッパーで作成したアライメントマークに対して前記低倍率ステッパーでグローバルアライメントを行なうとき、アライメントマークの位置を前記低倍率ステッパーの1ショット毎にショット中心に対して可変して使用することを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 521
, H01L 21/30 502 M
, H01L 21/30 520 A
