ウエハ位置決め装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-354029
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183136
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】ウエハまたは試料台が帯電しても、試料台上で正しく位置決めができるウエハ位置決め装置を提供する。【解決手段】ウエハ1を試料台3に載せて位置決めするに際し、ウエハ受け(梃子機構)4の先端4aが試料台3の上面より上方でウエハ1の一部に接触してウエハを受ける。この状態で、ウエハ1をウエハ位置決めピン2に押しつけ機構5により押しつけて位置決めする。その後に、ウエハ受け4の先端4aが下降(移動)して、ウエハ1が試料台3の上面に載置される構成とした。

請求項（抜粋）：

ウエハを載せて位置決めするための試料台を備えたウエハ位置決め装置において、前記ウエハを試料台上に載せる際に試料台上面より上方で前記ウエハの一部に接触して該ウエハを受けるウエハ受けと、前記ウエハが前記ウエハ受けにより受けられた状態で該ウエハを前記試料台上に設けた位置決め部材に押しつける機構とを備え、前記ウエハ受けは、前記ウエハが前記位置決め部材に押しつけられた後にこのウエハを前記試料台上に載せるに支障のない位置まで退く機構を有することを特徴とするウエハ位置決め装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 M , H01L 21/30 541 L

Fターム (11件)：

5F031CA02 , 5F031HA16 , 5F031KA02 , 5F031KA06 , 5F031KA13 , 5F031MA27 , 5F031MA33 , 5F056CB22 , 5F056DA23 , 5F056EA14 , 5F056FA06

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