特許

J-GLOBAL ID：200903079990223468

基板処理装置のロードポートシステム及び基板の処理方法

発明者： 徳永 謙二
出願人/特許権者： 株式会社半導体先端テクノロジーズ
代理人 (1件)： 高田 守 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334104
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156142
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 FOUP(ウェーハキャリア)のドアの開閉信頼性の向上、および処理装置内部へのパーティクル(異物微粒子)の十分な侵入防止性の実現を図ることで高歩留まりで集積回路の生産ができるロードポートならびにFOUP構造およびこれらを用いた生産方法を得る。【解決手段】 基板処理装置のロードポート機構において、基板処理装置がウェーハキャリアとドッキングするドア周囲のシール面、または、ウェーハキャリアのドア周囲のシール面に突起を設けて両者を当接させるようにし、基板処理装置のシール面とウェーハキャリアのシール面との間を所定距離だけ離間させ、基板処理装置内部から外部への清浄空気の流通路を形成する。

請求項（抜粋）：

基板処理装置のロードポートドアの周囲のシール面に、ウェーハキャリアのドア開口部周囲のシール面に当接するための複数の突起を設けたことを特徴とする基板処理装置のロードポートシステム。

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T

Fターム (13件)：

5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA06 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031MA23 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA02 ,  5F031NA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 可搬式密閉コンテナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-269780   出願人：神鋼電機株式会社