特許

J-GLOBAL ID：200903080000346100

表示パネルの電極形成方法

発明者： 白石 政行 ,  鎌田 順夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 久保 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025181
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222128
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】下層との密着性が良好で且つ所定の導電性を有した金属膜を効率的に成膜し、電極形成の生産性を高めることを目的とする。【構成】ガラス基板11上に透明導電膜41とそれに重なる金属膜42とからなる電極X,Yを有した表示パネルの製造に際して、ガラス基板11の上に透明導電膜41を形成し、透明導電膜41の表面を含めてガラス基板11の表面の全体を被覆するように、無電解めっき法によってニッケル421を析出させた後、酸性の銅めっき溶液を用いる電解めっき法によって、銅422をニッケル421よりも厚く析出させて金属膜42を形成する。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上に透明導電膜とそれに重なる金属膜とからなる電極を有した表示パネルの製造に際して、前記ガラス基板の上に前記透明導電膜を形成し、当該透明導電膜の表面を含めて前記ガラス基板の表面の全体を被覆するように、無電解めっき法によってニッケルを析出させた後、酸性の銅めっき溶液を用いる電解めっき法によって、銅を前記ニッケルよりも厚く析出させて前記金属膜を形成することを特徴とする表示パネルの電極形成方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  C23C 28/02 ,  C23C 18/18

FI (3件)：

H01J 9/02 F ,  C23C 28/02 ,  C23C 18/18