特許
J-GLOBAL ID:200903080005833921

印刷方法及び印刷装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 黒田 壽
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-333725
公開番号(公開出願番号):特開2001-150633
出願日: 1999年11月25日
公開日(公表日): 2001年06月05日
要約:
【要約】【課題】 印刷マスクとウェハとを離間する際に、印刷マスクの貫通孔に充填された導電性ペーストが分断されたりすることなく、良好な印刷パターンを形成することができる印刷方法及び印刷装置を提供する。【解決手段】 ウェハに接触する印刷マスクの貫通孔に導電性ペーストを充填した後、該印刷マスクとウェハとを離間させる離間中の印刷マスクの貫通孔より導電性ペーストが抜け始めてから抜け終えるまでの期間に、該貫通孔内の導電性ペーストをウェハ側に押圧するように該導電性ペーストにエア圧を加える印刷方法を用いる。この印刷方法は、印刷マスク2側に供給口801aを有し導電性ペースト3を収容した状態で該印刷マスク2の表面に沿って移動可能なペースト充填部801を有する充填部材80を用いる。この充填部材80は、上記充填部801と一体的に、印刷マスク2側に開口802aを有し該印刷マスク2の表面に沿って移動可能なエア加圧部802が形成されている。
請求項(抜粋):
被印刷体に接触し貫通孔に印刷剤が充填されている印刷マスクと、該被印刷体とを離間させることにより、該印刷剤を該被印刷体の印刷面に印刷する印刷方法であって、少なくとも該離間中の印刷マスクの貫通孔より印刷剤が抜け始めてから抜け終えるまでの期間に、該貫通孔内の印刷剤を該被印刷体側に押圧するように該印刷剤にエア圧を加えることを特徴とする印刷方法。
IPC (3件):
B41F 15/40 ,  B41F 15/08 303 ,  B41M 1/12
FI (3件):
B41F 15/40 B ,  B41F 15/08 303 E ,  B41M 1/12
Fターム (18件):
2C035AA06 ,  2C035FA27 ,  2C035FC08 ,  2C035FD02 ,  2C035FD27 ,  2C035FD34 ,  2C035FD43 ,  2C035FD44 ,  2C035FF23 ,  2H113AA01 ,  2H113AA05 ,  2H113BA10 ,  2H113BA14 ,  2H113BB22 ,  2H113BC12 ,  2H113CA17 ,  2H113DA04 ,  2H113FA54
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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