特許

J-GLOBAL ID：200903080009944361

面検査装置及び面検査方法

発明者： 小松 宏一郎 ,  北村 俊昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197805
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023480
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 表面に微細な繰り返しパターンを有するような被検物体上の異物や傷、パターンの異常やむらなどを検査する面検査装置及び面検査方法を提供する。【解決手段】 被検面1を照明する照明光学系100と、照明された前記被検面1に関する情報を含んだ散乱光または回折光を受光する受光光学系200と、受光された前記散乱光または回折光により形成される前記被検面の像を表示する画像表示面8aを有する画像表示装置300とを備え、前記画像表示面8aは、前記被検面1と隔離されるように構成されている面検査装置。画像表示面は、被検面と隔離されて構成されているので、画像表示面による観察行為の影響を被検面が受けることがない。

請求項（抜粋）：

被検面を照明する照明光学系と;前記照明光学系によって照明された前記被検面に関する情報を含んだ散乱光または回折光を受光する受光光学系と;前記受光光学系で受光された前記散乱光または回折光により形成される前記被検面の像を表示する画像表示面を有する画像表示装置とを備え;前記画像表示面は、前記被検面と隔離されるように構成されていることを特徴とする;面検査装置。