特許
J-GLOBAL ID：200903080022542698

荷電粒子ビームを用いたホールの検査方法

発明者：
猪口 正幸

猪口 正幸 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について

, 
日本電子システムテクノロジー株式会社

日本電子システムテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109041
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300450
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 比較的短時間に多数のホールの状態を検査することができる荷電粒子ビームを用いたホールの検査方法を実現する。【解決手段】 試料4に形成されたコンタクトホールの内、基準となるコンタクトホールH1 を基点とした各コンタクトホールの位置のデータに基づき、制御装置11は偏向制御回路7を制御し、電子ビームEBを各コンタクトホールの中心部分に飛び飛びに偏向する。この電子ビームの偏向は、2段の偏向コイル5,6によって行われるが、その際、ビームシフトと呼ばれる機能により電子ビームは偏向される。
請求項（抜粋）：
多数のホールが形成された試料に荷電粒子ビームを照射し、ホール部分への荷電粒子ビームの照射によって得られた信号に基づいてホールの状態を検査する検査方法において、試料に形成されたホールの位置データに基づき、荷電粒子ビームをホール部分に飛び飛びに偏向し、各ホール部分のみに荷電粒子ビームを照射するようにした荷電粒子ビームを用いたホールの検査方法。
IPC (3件)：
G01B 15/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01B 15/00 B ,  H01J 37/28 A ,  H01L 21/66 P
引用特許：
審査官引用 (3件)

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