特許
J-GLOBAL ID：200903080022638296
ウェーハ洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347407
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177104
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】ウェーハ洗浄工程で使用する超純水槽を対象に、短い洗浄時間でウェーハを効率よく洗浄できるようにしたウェーハ洗浄装置を提供する。【構成】洗浄槽1の底部側両サイドに配管した散水管ノズル3より超純水を導入し、被洗浄ウェーハ2を縦向き姿勢で洗浄槽内の水中に浸漬して洗浄するオーバーフローリンス方式のウェーハ洗浄装置において、散水管ノズル3に穿孔したノズル穴3aの向きを洗浄槽の底部中央に向け約45 ゚の角度で斜め下向きに開口するとともに、さらにウェーハの周面と対向する洗浄槽の側壁上部には該側壁に沿って流れる下降水流を槽の中央に向かわせる水流ガイド4を設ける。
請求項（抜粋）：
洗浄槽内の底部側両サイドに配管した散水管ノズルより超純水を導入し、被洗浄ウェーハを縦向き姿勢で洗浄槽内の水中に浸漬して洗浄するオーバーフローリンス方式のウェーハ洗浄装置において、散水管ノズルに穿孔したノズル穴の向きを洗浄槽の底部中央に向けて斜め下向きに開口したことを特徴とするウェーハ洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/10
