特許
J-GLOBAL ID：200903080024568031
フローセンサ用ソリッドステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-183948
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018988
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 流体の流速及び流量を正確に測定しえるようにする。【解決手段】 管路部材14に位置決めされる位置決め部15,20と、センサチップ12を固定する固定部21と、接続線によりセンサチップ12の接続パッドに接続されるリード端子19とを備えるステム本体16を設ける。ステム本体16を管路部材14に取り付けた状態では、センサチップ12及びリード端子19が流路24の管壁24aより内方に突出しないようにし、じょう乱の発生を防止する。これにより、流体の流速及び流量を正確に測定しえるようにする。
請求項（抜粋）：
流体の温度を検出する流体温度検出素子と、電圧印加により発熱する発熱体を含み基板に対して熱的に絶縁された抵抗素子とを流体の流れの方向に沿って前記基板に形成するとともに、前記流体温度検出素子及び前記抵抗素子の入出力用の接続パッドを前記基板に形成したセンサチップを保持し、自身は流路が形成された管路部材に取り付けられるステム本体を備え、前記ステム本体には、前記抵抗素子を前記流路に沿って位置させるとともに前記センサチップを前記流路の管壁の内周面と同等又はそれより外側に位置させる状態で前記管路部材によって位置決めされる位置決め部と、前記センサチップを前記流路の管壁の内周面と同等又はそれより外側に位置させて固定する固定部と、接続線により前記接続パッドに接続される一端が前記管路の前記管壁の内周面又はそれより外側に位置され他端が外部回路に接続されるリード端子とが設けられていることを特徴とするフローセンサ用ソリッドステム。
Fターム (2件)：
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