特許
J-GLOBAL ID:200903080042704244

曲面性状検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 由充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-332025
公開番号(公開出願番号):特開2003-227801
出願日: 2002年11月15日
公開日(公表日): 2003年08月15日
要約:
【要約】【課題】 拡散反射性を持つ曲面が認識対象となる場合にも、従来の検査装置と同様の照明装置、撮像装置を用いて、安定した検査を行う。【解決手段】 R,G,Bの各色彩光を発光する光源8,9,10が異なる仰角方向に配置された投光部4を具備する基板検査装置において、はんだ付け部位を含む画像領域について、R,G,Bの各輝度値をメモリ13に登録された調整倍率を用いて調整し、その調整後の画像を用いて検査を実行する。この調整倍率は、R,G,Bの各色彩パターンが検出される傾斜角度に設置された拡散反射板を撮像して得られた画像を用いて設定されるもので、いずれの傾斜角度でも、その傾斜角度で得られるべき色彩パターンに対応する色成分が他の色成分よりも大きくなるような値に設定される。
請求項(抜粋):
検査対象面に対する仰角が異なる複数の方向からそれぞれ異なる色彩光を照射した照明状態下で、前記検査対象面の曲面体からの反射光を撮像し、得られた画像を用いて前記曲面体の表面の状態を検査する方法において、検査に先立ち、前記各色彩光を照射した照明状態下で任意の傾斜角度を持つ拡散反射面を撮像したときに、この拡散反射面の画像において前記傾斜角度に対応する仰角方向からの光に応じた色彩が他の仰角方向からの光に応じた色彩よりも強くなるように、各色成分の強度の調整倍率を決定しておき、前記反射光を撮像して得られた画像中の曲面体像を含む画像領域において、各色成分の強度を前記調整倍率に基づいて調整し、調整処理後の前記画像領域内の各色彩の分布状態に基づき前記曲面体の表面の状態を検査することを特徴とする曲面性状検査方法。
IPC (2件):
G01N 21/956 ,  H05K 3/34 512
FI (2件):
G01N 21/956 B ,  H05K 3/34 512 A
Fターム (16件):
2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BB01 ,  2G051BC01 ,  2G051CB01 ,  2G051CB08 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051ED07 ,  5E319CC22 ,  5E319CD53
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特公平6-1173号公報
審査官引用 (3件)

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