特許

J-GLOBAL ID：200903080044926562

ウェハ貼着用粘着シート

発明者： 峯 浦 芳 久 ,  江 部 和 義 ,  細 野 茂
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-036162
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235150
出願日： 1992年02月24日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【構成】 ウェハダイシング用粘着テープにおいて、基材フィルムとして、少なくとも3層以上の構成層を有し、該構成層の最上層および最下層を除く層の内の少なくとも1層が、エチレン・ビニルアルコール共重合体または非晶性ポリアミドからなる積層体を用いる。【効果】 ウェハのダイシング、エキスパンディング工程における作業性が良好であり、ウェハを汚染することのないウェハ貼着用粘着シートを提供することができる。

請求項（抜粋）：

基材フィルムと粘着剤層とからなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、該基材フィルムが少なくとも3層以上の構成層を有し、該構成層の最上層および最下層を除く層の内の少なくとも1層が、エチレン・ビニルアルコール共重合体または非晶性ポリアミドからなることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  C09J 7/02 JJA ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/78