特許
J-GLOBAL ID:200903080059825118

感光性樹脂の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-317636
公開番号(公開出願番号):特開平5-156006
出願日: 1991年12月02日
公開日(公表日): 1993年06月22日
要約:
【要約】【構成】 テトラカルボン酸二無水物と式(1)で示されるアクリル基又はメタクリル基を有するアルコール化合物とを予め反応させたジカルボン酸成分とジアミン成分とを、縮合剤としてカルボジイミド類を用いて反応させるに当たり、全酸成分に対し、所要のジアミン成分とカルボジイミド類とを所定量ずつ多段に添加反応させる感光性樹脂の製造方法。【化1】【効果】 高分子量のポリアミドを得ることができ、極めて高感度で、かつ保存安定性が良好で、優れた硬化膜特性が得られる感光性樹脂を得ることができる。
請求項(抜粋):
テトラカルボン酸二無水物と式(1)で示されるアクリル基又はメタクリル基を有するアルコール化合物とを予め反応させたジカルボン酸成分とジアミン成分とを、縮合剤としてカルボジイミド類を用いて反応させるに当たり、全酸成分に対し、所要のジアミン成分とカルボジイミド類とを所定量ずつ多段に添加反応させることを特徴とする感光性樹脂の製造方法。【化1】
IPC (6件):
C08G 69/32 NSU ,  C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027 ,  C08F299/02 MRU

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