特許
J-GLOBAL ID：200903080065193727
近接場光学顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051783
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248721
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】光波長以下の物質の定量分析や顕微分光を可能とする。【解決手段】探針を用いて試料表面を走査しながら光強度を測定する近接場光学顕微鏡において、積分球を用いて全方位角に放射された光強度を測定する。積分球の一部が着脱可能な機構を有し、試料と探針の位置関係を調整するための観察機構を、その取り外した部分から挿入あるいは接近せしめる機構を有し、探針、および試料と探針の距離を制御する機構を共に着脱可能部分か着脱不可能部分かどちらか一方に配置する。照明光に対して透明な材質よりなり、その表面に照明光に対して不透明もしくは照明光を反射する材質の皮膜を形成し、先端において皮膜に光波長以下の微小開口を設けた探針を用いる。照明光に対して不透明な材質よりなり、先端に照明光を通すための微小開口を設けない探針を用いる
請求項（抜粋）：
試料を光により照明する機構と、探針と、試料と探針の距離を制御しながら走査する機構と、試料を透過または試料により反射もしくは散乱した光、或いは試料からの2次光を信号として観測する機構と、観測信号を画像化する機構よりなる近接場顕微鏡において、特に、探針と試料を積分球内に設置し、試料を透過した光と試料により反射,散乱した光を積分球により集めて観測することを特徴とする近接場光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01J 1/02 E
