特許

J-GLOBAL ID：200903080068728745

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者： 松沢 明
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-248775
公開番号（公開出願番号）：特開2002-059555
出願日： 2000年08月18日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】【課題】 インク吐出特性を向上すると共に、振動板の破壊を防止したインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 単結晶シリコンからなりノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、この圧力発生室の一部を構成する振動板を介して前記圧力発生室に対応する領域に薄膜及びリソグラフィ法により形成された圧電素子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板と振動板との間に流路形成層を有し且つ当該流路形成層には前記圧力発生室に対向する領域に開口部が形成され、前記圧力発生室の前記流路形成層側の平面形状の少なくとも長手方向の端部を、前記開口部の外縁によって規定する。

請求項（抜粋）：

単結晶シリコンからなりノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、この圧力発生室の一部を構成する振動板を介して前記圧力発生室に対応する領域に薄膜及びリソグラフィ法により形成された圧電素子とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板と振動板との間に流路形成層を有し且つ当該流路形成層には前記圧力発生室に対向する領域に開口部が形成され、前記圧力発生室の前記流路形成層側の平面形状の少なくとも長手方向の端部が、前記開口部の外縁によって規定されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

Fターム (14件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG42 ,  2C057AG52 ,  2C057AG60 ,  2C057AP02 ,  2C057AP11 ,  2C057AP14 ,  2C057AP17 ,  2C057AP34 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14