特許
J-GLOBAL ID:200903080072081551
シャドウマスク形成用組成物およびこれを用いたシャドウマスクの形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
曾我 道照 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-161466
公開番号(公開出願番号):特開平11-006084
出願日: 1997年06月18日
公開日(公表日): 1999年01月12日
要約:
【要約】【課題】 耐熱性、エッチング液耐性、柔軟性、密着性に優れ、さらに環境汚染の少ないアルカリ水溶液により溶解および剥離可能なシャドウマスク形成用組成物の提供。【解決手段】 星形分岐構造を有するアルカリ可溶性樹脂(A)とスチレン/アクリル系共重合樹脂(B)とを含有してなるアルカリ水溶液に可溶な耐酸性樹脂組成物からなるシャドウマスク形成用組成物。
請求項(抜粋):
星形分岐構造を有するアルカリ可溶性樹脂(A)とスチレン/アクリル系共重合樹脂(B)とを含有してなるアルカリ水溶液に可溶な耐酸性樹脂組成物からなるシャドウマスク形成用組成物。
IPC (5件):
C23F 1/28
, C23F 1/00
, H01J 9/14
, H01J 29/07
, H01J 31/20
FI (5件):
C23F 1/28
, C23F 1/00 C
, H01J 9/14 G
, H01J 29/07 Z
, H01J 31/20 A
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