プラズマ成膜装置およびそのクリーニング方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086262
公開番号（公開出願番号）：特開平9-272979
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は生産効率を下げることなく効果的なクリーニングが達成できるプラズマ成膜装置およびそのクリーニング方法を提供することである。【解決手段】本発明のプラズマ成膜装置においては、真空槽内には槽内壁に防着板を設け、防着板を絶縁碍子等を用いて槽壁と分離させ、電気的に独立の状態とし、防着板に電圧を印加してプラズマクリーニングを行うことが可能な構成である。

請求項（抜粋）：

プラズマを形成して薄膜を成膜し、かつ真空槽の槽内壁のクリーニングをプラズマを用いて行うプラズマ成膜装置であって、前記真空槽の槽内壁には該槽内壁の要部を全覆するように防着板が設けられ、該防着板を電極としてプラズマを発生させるために防着板を槽内壁と電気的に分離、あるいは結合するためのスイッチング手段を有することを特徴とするプラズマ成膜装置。

IPC (5件)：

C23C 16/50 , C23C 14/00 , C23F 4/00 , H01L 21/203 , H01L 21/205

FI (5件)：

C23C 16/50 , C23C 14/00 B , C23F 4/00 A , H01L 21/203 M , H01L 21/205

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