テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびテラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-039555
公開番号（公開出願番号）：特開2009-198278
出願日： 2008年02月21日
公開日（公表日）： 2009年09月03日
要約：

【課題】試料の集合体構造を精密に測定する、テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびその構造を得る。【解決手段】フェムト秒レーザから第1のビーム光と第2のビーム光を発生する。第1のビーム光を第1のテラヘルツ電磁波に変換して試料チャンバーに導入する。第1のテラヘルツ電磁波を第1の試料に伝播させて、第1の試料のテラヘルツ電磁波時間領域分光分析を行ない、特定のテラヘルツ電磁波吸収値を求める。第2のビーム光を第2のテラヘルツ電磁波に変換して試料チャンバーに導入し、第2のテラヘルツ電磁波を第2の試料に伝播させて、第2の試料のテラヘルツ電磁波時間領域分光分析を行ない、特定のテラヘルツ電磁波吸収値を求める。第1の試料の特定のテラヘルツ電磁波吸収値と第2の試料の特定のテラヘルツ電磁波吸収値との差を求める。特定のテラヘルツ電磁波吸収値差により、試料のイオン種を同定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

フェムト秒レーザーから第1のビーム光と第2のビーム光を発生し、前記第1のビーム光を第1のテラヘルツ電磁波に変換して試料分析チャンバーに導入し、前記第1のテラヘルツ電磁波を前記試料分析チャンバーに配置した第1の試料に伝播させて、前記第1の試料のテラヘルツ電磁波時間領域分光分析を行ない、前記第1の試料の特定のテラヘルツ電磁波吸収値を求め、前記第2のビーム光を第2のテラヘルツ電磁波に変換して前記試料分析チャンバーに導入し、前記第2のテラヘルツ電磁波を前記試料分析チャンバーに配置した第2の試料に伝播させて、前記第2の試料のテラヘルツ電磁波時間領域分光分析を行ない、前記第2の試料の特定のテラヘルツ電磁波吸収値を求め、前記第1の試料の前記特定のテラヘルツ電磁波吸収値と前記第2の試料の前記特定のテラヘルツ電磁波吸収値との差を求めることを特徴とするテラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 Z

Fターム (24件)：

2G059AA01 , 2G059BB05 , 2G059BB20 , 2G059CC02 , 2G059EE01 , 2G059EE12 , 2G059FF04 , 2G059FF08 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059JJ24 , 2G059LL01 , 2G059MM01 , 2G059MM05 , 2G059MM10 , 2G059PP04

引用特許：

出願人引用 (2件)

半導体装置の製造方法及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-012605 出願人：シャープ株式会社
半導体デバイスの故障診断方法と装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-202019 出願人：独立行政法人理化学研究所, NECエレクトロニクス株式会社

審査官引用 (7件)

測定装置及び測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-140883 出願人：キヤノン株式会社
対象物の情報を検出する検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-037765 出願人：キヤノン株式会社
テラヘルツ分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-291852 出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン

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