特許
J-GLOBAL ID:200903080080181123

接触燃焼式COガスセンサとその製造法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐田 守雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-260594
公開番号(公開出願番号):特開2002-071614
出願日: 2000年08月30日
公開日(公表日): 2002年03月12日
要約:
【要約】【課題】 熱処理による特性値のバラツキが少なく、さらにガス選択性を高めた接触燃焼式COガスセンサ及びその製造法を提供する。【解決手段】 活性部及び補償部を形成するコイルを直列に配置する回路を有する接触燃焼式COガスセンサであって、各コイルに2CuO・Cr2O3を含む複合酸化物保持体層を有し、活性部を形成するコイルの複合酸化物保持体層の中間にAgが存在し、外表面にPtが存在することを特徴とする接触燃焼式COガスセンサである。また、各コイルにPt及びAgをスパッタする工程を含む接触燃焼式COガスセンサの製造方法である。
請求項(抜粋):
活性部及び補償部を形成する各コイルを直列に配置するとともに該各コイルとガス感度計を介して相対するブリッジ抵抗を設けさらに電源を組入れて回路を構成し、該各コイルは2CuO・Cr2O3又はCu2O・ZnO・Cr2O3を含む複合酸化物保持体層を有する接触燃焼式COガスセンサにおいて、活性部を形成するコイルの複合酸化物保持体層の中間にAgが存在し、複合酸化物保持体層の外表面にPtが存在することを特徴とする接触燃焼式COガスセンサ。
Fターム (7件):
2G060AB08 ,  2G060AF07 ,  2G060BA03 ,  2G060BB04 ,  2G060BB18 ,  2G060BD02 ,  2G060JA01

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