特許

J-GLOBAL ID：200903080086996595

液体原料の気化方法及び装置

発明者： 鈴木 秀直 ,  堀江 邦明 ,  中田 勉 ,  村上 武司
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-260928
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135197
出願日： 1997年09月09日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 霧化した液体原料の粒子を加熱体の表面に効率良く導いて、高い気化効率を得るとともに、気化工程における原料の析出を防いで安定に稼働する気化方法及び装置を提供する。【解決手段】 化学気相成長等に用いる液体原料の気化方法において、帯電した液体原料の霧化粒子Mを生成し、帯電した霧化粒子Mを電界から受ける力により原料加熱体14に導き、これに静電気的吸着力によって吸着させて加熱気化させる。

請求項（抜粋）：

化学気相成長等に用いる液体原料の気化方法において、帯電した液体原料の霧化粒子を生成し、該帯電した霧化粒子を電界から受ける力により原料加熱体に導き、これに静電気的吸着力により吸着させて加熱気化させることを特徴とする液体原料の気化方法。

IPC (3件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/31 F ,  C23C 16/44 C ,  H01L 21/205