特許
J-GLOBAL ID：200903080094420074
微小形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239221
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083453
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 被測定物全体の形状を高精度に早い速度で検査できる装置を提供する事。【解決手段】 被測定物にスリット光を照射し、照射されたスリット光を結像レンズで検出部に結像させ、検出部には短冊状のPSDを平面状に配列し、個々のPSDによって検出したスリット光の位置信号を信号処理部によって断面形状として検出するようにした。
請求項（抜粋）：
被測定物に対してスリット光を照射するスリット光照射手段と、前記被測定物から反射するスリット光を受光し電気信号に変換する光電変換手段と、該光電変換手段により変換された電気信号により被測定物の形状を検査する微小形状測定装置において、前記光電変換手段は一次元センサを複数個並行に配置した構成としたことを特徴とする微小形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 11/24 C
, G01B 11/24 K
, H01L 21/66 J
