特許

J-GLOBAL ID：200903080095231852

衝撃波遅延管

発明者： 大石 真也
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 加藤 邦彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-214816
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041296
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】 衝撃波遅延管からのガスの発生を防止して光取り出しライン内を超高真空状態に保つ。【構成】 衝撃波遅延管30内のセル38内の空間にSOR光29の通過を妨げない位置にチタンフィラメント40を配設する。このチタンフィラメント40に外部から電流を供給して蒸発させる。これにより衝撃波遅延管30の内周面にチタンの蒸着膜が形成される。このチタン蒸着膜はガスのゲッター面として作用し、光取り出しライン中に浮游しているガスを吸着排気し、光取り出しライン内を超高真空に保つ。

請求項（抜粋）：

SOR装置における光取り出しラインに配設されて、内部に複数の仕切板で仕切られた複数のセルを縦列に配し、当該仕切板に形成されたSOR光通過孔を通してSOR光が出射される衝撃波遅延管において、前記セル内のSOR光が通過する位置を外れた空間内に配設されたチタンフィラメントと、このチタンフィラメントに外部から電流を供給する電流供給路とを具備してなる衝撃波遅延管。