特許
J-GLOBAL ID：200903080100238976
走査型顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-290088
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051205
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】本発明は、広い波長域に亘って常に良好なスポットを形成でき、しかも操作が容易な走査型顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】光源1からの照明光を被観察面13に集光させるための瞳投影レンズを互いに波長域が異なる複数種類の照明光に対応した数だけ設け、それら各瞳投影レンズ29a,29bに対応する波長域の収差補正を施し、かつ光路近傍に設けられたレンズ切換部材23にそれぞれ装填して選択的に光路上に配置するようにした。
請求項（抜粋）：
光源からの照明光を被観察面に集光させるための瞳投影レンズを備えた走査型顕微鏡において、前記瞳投影レンズは、互いに波長域が異なる複数種類の照明光に対応した数だけ設けられ、それぞれ対応する波長域の収差補正が施され、かつ光路近傍に設けられたレンズ切換部材にそれぞれ装填されて選択的に光路上に配置されることを特徴とする走査型顕微鏡。
引用特許：
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