特許

J-GLOBAL ID：200903080111457688

酸不安定基を含有する感放射線混合物およびレリーフパターン、レリーフ画像の作製方法

発明者： ラインホルト、シュヴァルム ,  ホルスト、ビンダー ,  ディルク、フンホフ
出願人/特許権者： ビーエーエスエフ アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 田代 烝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061566
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181264
出願日： 1992年03月18日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】 アルカリ水溶液に溶解する結合剤と、酸により分裂し得る少くとも1個の結合および放射線作用下に強酸を形成する基を有する有機化合物とを含有し、酸触媒的反応を基礎とする、ことに感光性ポジチブ処理用層形成材料として実用に適する、露出と加熱処理間の貯蔵期間に関する融通性を以て、レリーフパターンを作製し得る、感放射線混合物を提供すること。【構成】 上記両組成分のほかにさらに以下の式(I)【化1】で表わされる有機化合物、ことにスルホニウム塩を使用すること。

請求項（抜粋）：

(a)水に不溶性、アルカリ水溶液に可溶性のポリマー結合剤と、(b)水性アルカリ現像液に対する溶解性が酸の作用により増大せしめられ、酸により分解され得る少くとも1個の基と、放射線の作用下に強酸を形成するさらに他の基を有する有機化合物とを含有する感放射線混合物であって、これがさらに(c)以下の一般式(I)【化1】で表わされ、Rが炭素原子1から8個のアルキル、炭素原子1から8個のハロゲンアルキル、炭素原子6から18個のアリール、あるいはアルキル、ハロゲンもしくはNO2 で置換されたアリールを、R′が互に同じでも異ってもよく、それぞれ水素、炭素原子1から8個のアルキル、炭素原子1から8個のアルコキシ、あるいは【化2】で表わされ、かつXが-O-、-S-もしくは-(-CR′′2 )m -(R′′は水素、炭素原子1から4個のアルキルあるいはハロゲンである)基を、nが1、2もしくは3を、mが0から8をそれぞれ意味する少くとも1種類の有機化合物を含有することを特徴とする混合物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 503 ,  C08K 5/42 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027