特許

J-GLOBAL ID：200903080113855427

三次元測定方法

発明者： 木村 紀夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-288824
公開番号（公開出願番号）：特開2002-098516
出願日： 2000年09月22日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】凹凸面を有する被測定物の設計値に対する修正部分を容易に特定することができる三次元測定方法を提供する。【解決手段】 被測定物表面の高さ方向の座標値であるZ座標値を測定する測定装置と被測定物とを、被測定物4の頂点近傍においてX軸方向及びY軸方向に相対的に走査して、X軸方向についてZ座標値が最大となるX座標値tb、及びY軸方向についてZ座標値が最大となるY座標値taを探索する工程と、X座標tbを通るY軸、及びY座標taを通るX軸に沿って被測定物表面のZ座標値を測定する工程と、測定されたX軸に沿うZ座標の測定値に基づいて、被測定物表面の第1の円近似式を演算する工程と、測定されたY軸に沿うZ座標の測定値に基づいて、被測定物表面の第2の円近似式を演算する工程と、第1の円近似式と第2の円近似式とから球面近似式を演算する工程と、球面近似式と測定値との差分を演算する工程と、演算結果を表示する工程とを具備する。

請求項（抜粋）：

球面状の表面を有する被測定物の前記表面のX、Y、Z座標値を測定するための三次元測定方法であって、前記表面の高さ方向の座標値であるZ座標値を測定する測定装置と前記被測定物とを、前記被測定物の頂点近傍においてX軸方向及びY軸方向に相対的に走査して、前記X軸方向についてZ座標値が最大となるX座標値、及び前記Y軸方向についてZ座標値が最大となるY座標値を探索する探索工程と、前記Z座標値が最大となるX座標を通るY軸、及び前記Z座標値が最大となるY座標を通るX軸に沿って前記測定装置と前記被測定物とを相対的に走査し、前記Z座標値が最大となるX座標を通るY軸、及び前記Z座標値が最大となるY座標を通るX軸に沿って前記表面のZ座標値を測定する測定工程と、該測定工程で測定された前記X軸に沿うZ座標の測定値に基づいて、前記表面の第1の円近似式を演算する第1の演算工程と、前記測定工程で測定された前記Y軸に沿うZ座標の測定値に基づいて、前記表面の第2の円近似式を演算する第2の演算工程と、前記第1の円近似式と前記第2の円近似式とから球面近似式を演算する第3の演算工程と、前記球面近似式と前記測定工程における測定値との差分を演算する第4の演算工程と、前記第4の演算工程における演算結果を表示する表示工程とを具備することを特徴とする三次元測定方法。

IPC (3件)：

G01B 21/00 ,  B23Q 17/20 ,  G01B 11/00

FI (6件)：

G01B 21/00 E ,  G01B 21/00 F ,  G01B 21/00 G ,  G01B 21/00 L ,  B23Q 17/20 A ,  G01B 11/00 D

Fターム (28件)：

2F065AA04 ,  2F065AA17 ,  2F065BB05 ,  2F065CC22 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065SS01 ,  2F065SS13 ,  2F069AA04 ,  2F069AA13 ,  2F069AA31 ,  2F069BB40 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ14 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34 ,  2F069NN05 ,  2F069NN09 ,  2F069NN17 ,  3C029BB01