特許
J-GLOBAL ID：200903080114138494
ウェハーフォーク
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296097
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151550
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】半導体ウェハーのサイズ変更があった場合においても新規なウェハーフォークを設計製作することなく、外径サイズが異なる複数の半導体ウェハーに適用できるウェハーフォークを提供する。【構成】半導体製造工程において半導体ウェハーWを保持して順次搬送するウェハーフォーク7であり、外径が異なる複数の半導体ウェハーW4 ,W6 ,W8 をそれぞれ所定位置に保持可能な保持機構8をフォーク本体7aに設け、この保持機構8は、半導体ウェハーW4 ,W6 ,W8 の外周縁部に当接してこの半導体ウェハーW4 ,W6 ,W8 を保持する複数の保持ピン9と、この保持ピン9をフォーク本体7aに着脱自在に固定するためにフォーク本体7aに穿設された複数の固定穴H4 ,H6 ,H8 とを備え、搬送する半導体ウェハーW4 ,W6 ,W8 の直径の大小に応じて上記保持ピン9を対応する固定穴H4 ,H6 ,H8 に固定するように構成する。
請求項（抜粋）：
半導体製造工程において半導体ウェハーを保持して順次搬送するウェハーフォークであり、外径が異なる複数の半導体ウェハーをそれぞれ所定位置に保持可能な保持機構をフォーク本体に設けたことを特徴とするウェハーフォーク。
IPC (2件)：
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