特許
J-GLOBAL ID：200903080116279982
チップ位置ズレ測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085252
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288510
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】チップがどの方向にずれても、容易に正確にチップの位置ズレを測定することが出来、その上、捻れ回転したチップの位置ズレに対しても同一の精度で測定可能とする。【構成】基板1′の表面上に、バンプ用電極パタン2′とバンプ用電極パタン2′と主尺目盛り位置ズレ検出パタンαをパタン形成すると共に、他方のチップ4′の対向表面上に、バンプ用電極パタン5′と、副尺目盛り位置ズレ検出パタンβをパタン形成し、バンプ用電極上2′,5′に形成したバンプを介してフリップチップ接続した後、チップ4′若しくは基板1′を光学的に透過して、チップ4′と基板1′対向面にそれぞれパタン形成した主尺目盛り位置ズレ検出パタンαと、副尺目盛り位置ズレ検出パタンβの重合状態から、基板1′に対するチップ4′の位置ズレを測定することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ICチップ若しくはそれに類する形状のチップが、バンプ用電極パタンを介して基板と相対峙位置決め接続するフリップチップ接続法に於ける位置決め接続後のチップ位置ズレ測定方法に於いて、前記フリップチップ接続を行うチップ或いはこれに対向する基板の何れか一方の表面上に、バンプ用電極パタンと当該バンプ用電極パタンと任意所定位置関係の中心点より十重二重に複数の同心相似形線を放射方向等ピッチ間隔で配置する主尺目盛り位置ズレ検出パタンをパタン形成すると共に、他方のチップ或いは基板の何れかの表面上に、前記バンプ用電極パタンと同一寸法でかつ同一位置に配置するバンプ用電極パタンと、当該バンプ用電極パタンと前記同様任意所定位置関係の中心点より十重二重に複数の同心相似形線をこれと同一形状の前記対向する同心相似形線に比して所定の値だけ僅かにずらした間隔で等ピッチ間隔で配置する副尺目盛り位置ズレ検出パタンをパタン形成し、前記バンプ用電極上に形成したバンプを介してフリップチップ接続した後、前記チップ若しくは基板を光学的に透過して、前記チップと基板対向面にそれぞれパタン形成した前記主尺目盛り位置ズレ検出パタンと、副尺目盛り位置ズレ検出パタンの重合状態から、前記基板に対するチップの位置ズレを測定することを特徴とするチップ位置ズレ測定方法
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