特許
J-GLOBAL ID：200903080120363920
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-095948
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302564
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：
【要約】【目的】本発明は走査電子顕微鏡に関して、レンズと絞りの軸合わせを自動的に行う装置を提供する。【構成】ビーム源2からのビームを試料5に照射する複数の電子レンズ(収束レンズ3と対物レンズ4)を有する電子レンズ系と、移動可能な可動絞り20をビームの通路上に有する走査電子顕微鏡において、演算制御部22が可動絞り20を軸合わせしようとする電子レンズの励磁を励磁変化手段21により変化させ、励磁変化の前後における試料5の像を構成する信号を画像メモリ190に記憶させ、絞り移動手段10により、励磁変化の前後における電子レンズ系の照射範囲に基づき、可動絞り20を移動させて、電子レンズの光軸との軸合わせを行う。
請求項（抜粋）：
ビームを発生するビーム源と、該ビーム源からのビームをビーム軸に沿って試料に照射する複数の電子レンズを有する電子レンズ系と、移動可能な可動絞りとをビームの通路上に有し、試料の像を構成する信号を記録する画像メモリを有する、走査電子顕微鏡において、前記可動絞りを軸合わせようとする前記電子レンズの励磁を変化させる励磁変化手段と、該励磁変化手段による励磁変化の前後における試料の像を構成する信号を記憶する画像メモリと、上記励磁変化手段による励磁変化の前後における上記電子レンズ系の照射範囲に基づき、前記可動絞りを移動させて前記電子レンズのビーム軸との軸合わせを行う演算制御部と、を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/04
, H01J 37/09
, H01J 37/28
