特許
J-GLOBAL ID：200903080120379800
カンチレバー型プローブ、その製造方法、該プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡及び情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184155
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010715
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 バイモルフ各層間にレジスト残りやゴミが発生せず、各層の表面に膜質変化がなく密着性の良い、カンチレバー型プローブを提供することにある。【構成】 本発明は、2層の圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜を圧電逆効果により変位させるための3層の電極とを有するカンチレバー(片持ちばり)状変位素子の上面自由端部に、情報入出力用プローブを設けたカンチレバー型プローブの製造方法において、前記2層の圧電体薄膜と前記3層の電極とを真空装置内で連続して成膜することを特徴とするカンチレバー型プローブの製造方法である。
請求項（抜粋）：
複数の圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜を圧電逆効果により変位させるための複数の電極とを有するカンチレバー(片持ちばり)状変位素子の上面自由端部に、情報入出力用プローブを設けたカンチレバー型プローブの製造方法において、前記複数の圧電体薄膜と前記複数の電極とを真空装置内で連続して成膜することを特徴とするカンチレバー型プローブの製造方法。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01J 37/28
