特許

J-GLOBAL ID：200903080129820712

表示装置製造方法、表示装置製造装置、表示装置、及びデバイス

発明者： 高野 豊 ,  山田 善昭
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087102
公開番号（公開出願番号）：特開2003-280535
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】 液滴吐出方式を用いた表示装置/デバイスの製造において、適用する製造工程の種類に応じて柔軟に対応できる手段の提供を課題とする。【解決手段】 ウェハに対する液滴吐出ヘッドの相対速度をV、液滴の吐出周期をT、ウェハに着弾して濡れ広がった後の液滴の直径をDとした場合に、VT<Dの関係を満たすように、相対速度V及び吐出周期T及び直径Dを制御する構成/方法を採用した。

請求項（抜粋）：

液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズルより液滴を基板に向けて吐出して表示装置を製造する方法であり、前記基板に対する前記液滴吐出ヘッドの相対速度をV、前記液滴の吐出周期をT、前記基板に着弾して濡れ広がった後の前記液滴の直径をDとした場合に、VT<Dの関係を満たすように、前記相対速度V及び前記吐出周期T及び前記直径Dを制御することを特徴とする表示装置製造方法。

IPC (8件)：

G09F 9/00 342 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G09F 9/30 349 ,  G09F 9/30 365 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (8件)：

G09F 9/00 342 Z ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G09F 9/30 349 B ,  G09F 9/30 365 Z ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (38件)：

2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA55 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB07 ,  2H048BB41 ,  2H048BB42 ,  2H088FA08 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA03 ,  2H088HA04 ,  2H088HA12 ,  2H088MA20 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC12 ,  2H091FC29 ,  2H091GA01 ,  2H091LA12 ,  2H091LA15 ,  2H091LA18 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  5C094AA43 ,  5C094BA27 ,  5C094CA24 ,  5C094ED03 ,  5C094GB10 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC12 ,  5G435GG12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK07 ,  5G435KK10