特許
J-GLOBAL ID：200903080132935245
X線応力測定法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-207270
公開番号（公開出願番号）：特開平8-068702
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】【目的】 結晶粒の少ない試料についても、回折X線の測定によって高精度に応力を求めることを可能にすること。【構成】 測定すべき応力の要求精度に応じて傾角ψi の設定数を増やし(ステップ105,106)、各傾角ψi における格子面間距離di はそれぞれの回折線プロファイルの重心位置の角度を回折角θi としてブラッグ式に基づいて算出し(ステップ103)、格子面間距離dとsin2 ψとの相関を示すd-sin2 ψ線図を求める際には、前記格子面間距離dとして、各ψi における算出値di に各回折線プロファイルの積分強度Ii で重みをつける。
請求項（抜粋）：
測定対象の試料の試料表面法線Moと結晶格子面法線Mとのなす角度である結晶格子面の傾角をψi とするとき、前記試料に波長λの特性X線を照射して、得た回折線プロファイルから前記試料に作用している応力σを算出するX線応力測定法であって、測定すべき応力の要求精度が高いほど前記傾角ψi の設定数を増やして、各傾角ψi において回折線プロファイルを測定し、各傾角ψi における格子面間距離di は、それぞれの回折線プロファイルの重心位置の角度を回折角θi として、ブラッグ式に基づいて算出し、かつ、格子面間距離dとsin2 ψとの相関を示すd-sin2 ψ線図を求める際には、前記格子面間距離dとして、回折に寄与した結晶粒の体積を考慮するために、各ψi における算出値di に各回折線プロファイルの積分強度Ii で重みをつけたdi ・F(Ii )を使用して、前記試料における応力σを求めることを特徴とするX線応力測定法。
IPC (3件)：
G01L 1/00
, G01L 1/25
, G01N 23/20
