特許
J-GLOBAL ID：200903080149757952
角速度検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-039889
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221086
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 回転軸X-X周りの角速度と回転軸Y-Y周りの角速度を検出する2軸対応の角速度検出装置における各角速度の検出精度を高める。【解決手段】 支持体36、支持梁38および振動子39等からそれぞれ構成された角速度検出要素33,34,35,36を、中心点Qを中心として正方形状にそれぞれ配置する。角速度検出要素33,35の支持梁38の伸長方向は回転軸X-Xに対して平行に、角速度検出要素34,36の支持梁38の伸長方向は回転軸Y-Yに対して平行に配置している。これにより、回転軸X-X周りの角速度を角速度検出要素33,35で検出し、回転軸Y-Y周りの角速度を角速度検出要素34,36で検出する。また、角速度検出要素33,35によって角速度を検出するときは、残りの角速度検出要素34,36は、周囲温度または軸ずれを検出するための誤差検出要素として用いられる。
請求項（抜粋）：
単一の基板上に一の点を中心として点対称となるように4基の角速度検出要素を配置し、基板に対して平行方向をなす互いに直交し合う2つの回転軸周りに作用する角速度をそれぞれ検出する角速度検出装置であって、該各角速度検出要素は、前記基板に固着して設けられた支持部と、基端側が該支持部に設けられ先端側が前記基板に対して平行方向に伸長する支持梁と、前記基板から離間した状態で該支持梁の先端側に支持され、前記基板に対して平行方向、直交方向に変位可能な振動子と、該振動子を一定の振動方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段により前記振動子を振動させた状態で前記基板に対して平行方向をなす回転軸周りの角速度が作用したときに、該角速度に対応して前記振動子がその振動方向と異なる一定の変位方向に変位するのを検出する変位検出手段とからなり、前記4個の角速度検出要素のうち2基を、その支持梁が前記一方の回転軸に対して直交するように配置して他方の回転軸周りに作用する角速度を検出するように構成し、残りの2個の角速度検出要素を、その支持梁が前記他方の回転軸に対して直交するように配置して一方の回転軸周りに作用する角速度を検出するように構成してなる角速度検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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