特許
J-GLOBAL ID：200903080150045737
多層配線基板の配線パターン解析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-312422
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167795
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 表面層において配線されている配線パターンの解析を行うだけでなく、下層で配線された配線パターンに生じたオープンやショート等の不具合の解析を迅速かつ容易に解析する。【構成】 配線パターンの不具合を解析する電気検査装置60と、配線パターンの配線ルートの情報を格納しているコンピュータ70と、多層配線基板を設置し変速可能で走査する自動走査ステージ42を有する解析台40と、多層配線基板の配線パターンを拡大して観察するための顕微鏡41と、この顕微鏡による拡大映像を撮影する撮影装置44と、撮影した映像を画面表示する表示装置50とを備えている。
請求項（抜粋）：
対象となる多層配線基板の配線パターンの不具合内容とその位置情報を出力する検査装置と、出力された前記不具合内容とその位置情報を基に前記前記配線パターンの不具合箇所を拡大し観察する顕微鏡とを備える多層配線基板の配線パターン解析装置において、前記多層配線基板の配線パターンの配線ルート情報を格納している記憶手段と、前記多層配線基板を載置し前記配線パターンを自動走査する走査ステージと、前記配線パターンの配線ルート情報および前記位置情報を基に前記走査ステージの走査を制御する制御手段と、前記顕微鏡による拡大像を映像信号に変換し画面表示する表示手段とを備えることを特徴とする多層配線基板の配線パターン解析装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01R 31/02
, H05K 3/00
, H05K 3/46
