特許
J-GLOBAL ID：200903080152852834
レンズ検査装置及びレンズ検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-164241
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357505
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 歪みのない干渉縞像のデータを得て正確に被検レンズの収差量を検査することができるレンズ検査装置を提供する。【解決手段】 本発明は、光源から射出された光束を2光路に分岐するビームスプリッタ3と、分岐した一方の光路中に配置した参照レンズ7を透過した光束と、他方の光路中に配置した被検レンズ8を透過した光束とを合成して干渉させるビームスプリッタ12と、ビームスプリッタ12から出射する干渉縞像を結像させるスクリーン14と、結像した干渉縞像を撮像するCCDカメラ16と、CCDカメラ16からの干渉縞像のデータを取得してデータ処理するコンピュータ17とを有するレンズ検査装置であって、スクリーン14の位置調整用目盛18を備えるとともに、コンピュータ17は、前記被検レンズ8及び前記参照レンズ7の設計値から歪みデータを求め、干渉縞像のデータを歪みデータを用いて理想干渉縞像のデータに補正し、補正して得られた理想干渉縞像のデータを解析して被検レンズ8の収差量を検査するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
光源から射出された光束を2光路に分岐する光路分岐手段と、分岐した一方の光路中に配置した比較基準となる参照レンズを透過した光束と、他方の光路中に配置した被検レンズを透過した光束とを合成して干渉させる光路合成手段と、光路合成手段から出射する干渉縞像を結像させる結像手段と、結像した干渉縞像を撮像する撮像手段と、撮像手段からの干渉縞像のデータを取得してデータ処理する処理手段とを有するレンズ検査装置であって、前記結像手段用の位置調整用目盛を備えるとともに、前記処理手段は、前記被検レンズ及び前記参照レンズの設計値から歪みデータを求め、干渉縞像のデータを歪みデータを用いて理想干渉縞像のデータに補正し、補正して得られた理想干渉縞像のデータを解析して被検レンズの収差量を検査するように構成したことを特徴とするレンズ検査装置。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, G01J 9/02
, G01M 11/02
G01M 11/00 L
, G01J 9/02
, G01M 11/02 B
