特許
J-GLOBAL ID：200903080160132565
周期性パターンの表面欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-018547
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229737
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 検査精度の向上および検査の全自動化の実現性を高める。【構成】 線状のセンサを用い、試料またはセンサを一軸方向へ移動させながら、センサの試料を見込む仰角を常に最適角になるようにコントロールし、線状光源で照明したときの試料からの斜め透過光を取り込み、取り込んだ画像信号に対して微分処理等の画像処理を施して表面欠陥を検出し、また、試料またはセンサを回転させてあらゆる方向についての検査を行うことにより、周期開口を有する試料の斜光検査を自動化し、検査精度を向上させ、検査の全自動化の実現性を高めることが可能とする。
請求項（抜粋）：
試料を光源で照明し、線状領域撮影手段により透過光を斜め方向から検出し、線状の領域を撮影することにより周期性パターンの欠陥を検出する方法において、仰角変化に対するセンサ入射光量の平均値変化量の所定スライスレベルを所定回数だけ連続して越えたときの最初にスライスレベルを越えた仰角を最適仰角とすることを特徴とする周期性パターンの表面欠陥検査方法。
IPC (2件)：
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