特許
J-GLOBAL ID：200903080163705760
異物捕集装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-077294
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275148
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 安価で操作時間が短縮された異物捕集装置を提供する。【解決手段】 異物捕集対象板から異物を捕集する異物捕集装置において、前記異物捕集対象板の両面にそれぞれ配置され前記異物捕集対象板に気体を吹き付ける少なくとも2個の気体供給手段と、前記異物捕集対象板の両面にそれぞれ配置されこの気体供給手段により前記異物捕集対象板から除去された異物を吸引する少なくとも2個の気体吸引手段とを具備してなる異物捕集装置である。
請求項（抜粋）：
異物捕集対象板から異物を捕集する異物捕集装置において、前記異物捕集対象板の両面にそれぞれ配置され前記異物捕集対象板に気体を吹き付ける少なくとも2個の気体供給手段と、前記異物捕集対象板の両面にそれぞれ配置されこの気体供給手段により前記異物捕集対象板から除去された異物を吸引する少なくとも2個の気体吸引手段とを具備してなる異物捕集装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 1/02 D
, G01N 15/00 C
