特許
J-GLOBAL ID：200903080169348137
微小部X線回折装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058315
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258366
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 微小部X線回折装置における2軸回転系間での交差誤差を解消することにより、正確な微小部測定を行うことができるようにする。【解決手段】 試料Sの微小部にX線R0 を照射して該微小部に発生する回折X線R1 を検出する微小部X線回折装置である。この装置は、試料Sをそれ自身を通るφ軸線を中心として面内回転させるφ回転装置9と、試料Sの回りに配設された1次元X線検出器2と、その1次元X線検出器2を入射X線光軸Z0 を中心として回転させる検出器回転装置26とを有する。試料Sを直交する2軸回転系で支持する必要が無くなるので、2軸間の交差誤差が測定に悪影響を及ぼすということがなくなる。
請求項（抜粋）：
試料の微小部にX線を照射して該微小部に発生する回折X線を検出する微小部X線回折装置において、試料をそれ自身を通るφ軸線を中心として面内回転させるφ回転手段と、試料の回りに配設された1次元X線検出器と、その1次元X線検出器を入射X線光軸を中心として回転させる検出器回転手段とを有することを特徴とする微小部X線回折装置。
Fターム (14件)：
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA07
, 2G001EA02
, 2G001EA03
, 2G001EA09
, 2G001JA06
, 2G001JA08
, 2G001JA11
, 2G001PA11
, 2G001PA12
