特許
J-GLOBAL ID：200903080171280540

プローブ付き複合顕微鏡、並びにプローブの高さ算出方法及びプローブ駆動方法

発明者：
大南 祐介

大南 祐介 について

, 
兼岡 則幸

兼岡 則幸 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-407615
公開番号（公開出願番号）：特開2005-167146
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】 プローブから試料までの距離を取得し、その距離に応じた最適なプローブ速度でプローブ駆動し、プローブから試料までの距離がゼロになった時にプローブ駆動を停止させる。【解決手段】 試料のほぼ同一点を観察できる2台以上の顕微鏡1,2と、試料6を載置する試料台と、試料に接近又は接触させることを目的とした機械的プローブ3と、機械的プローブを駆動する駆動機構14と、2台以上の顕微鏡から得られる画像から試料とプローブとの見かけの距離の測長を行う測長処理部10と、その2つ以上の測長値と顕微鏡の姿勢情報(θ)を元に、試料とプローブとの実際の距離を計算する測長データ処理部12を備え、試料とプローブとの距離を正確に把握する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料のほぼ同一点を観察できる第1及び第2の顕微鏡と、 試料を載置する試料台と、 機械的プローブと、 前記機械的プローブを駆動するプローブ駆動機構と、 顕微鏡による観察画像を解析し前記プローブと試料との間の見かけの距離を測長する測長処理部と、 前記測長処理部による測長値と顕微鏡の姿勢情報をもとに前記プローブと試料との間の実際の距離を計算する測長データ処理部とを含むことを特徴とするプローブ付き複合顕微鏡。
IPC (4件)：
H01L21/66 ,  G01B21/16 ,  H01J37/28 ,  H01J37/31
FI (4件)：
H01L21/66 Z ,  G01B21/16 ,  H01J37/28 B ,  H01J37/31
Fターム (18件)：
2F069AA44 ,  2F069BB13 ,  2F069DD08 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG08 ,  2F069GG63 ,  2F069JJ11 ,  4M106BA02 ,  4M106BA03 ,  4M106BA11 ,  4M106CA70 ,  4M106DB05 ,  4M106DH06 ,  5C033UU03 ,  5C033UU06 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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