特許

J-GLOBAL ID：200903080176354894

圧電型マイクロ流体制御器

発明者： 中谷 将也
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-275331
公開番号（公開出願番号）：特開2006-090181
出願日： 2004年09月22日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】従来の方法は、流路内壁の一部を弾性的に変化するダイアフラムとして構成しているので、流路の内壁が極めて壊れやすい構造となる。【解決手段】第一の基板と、この第一の基板の上面側から形成した少なくとも一つ以上の流路を有し、この上面側に第二の基板が当接されることで、これら流路が入出力部を除いて外部より遮断される流体制御器であって、上記流路の横壁に平行に第一のスリットが設けられることで、上記流路の横壁の一部を弾性的に変形するダイアフラムで構成するものとし、このダイアフラムの板厚方向に平行な側面に少なくとも一対の第一の電極と圧電体と第二の電極で構成された圧電素子が、上記側面内で上記流路側もしくは上記第一のスリット側のどちらかに偏在して設けられた構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第一の基板と、この第一の基板の上面側から形成した少なくとも一つ以上の流路を有し、この上面側に第二の基板が当接されることで、これら流路が入出力部を除いて外部より遮断される流体制御器であって、上記流路の横壁に平行に第一のスリットが設けられることで、上記流路の横壁の一部を弾性的に変形するダイアフラムで構成するものとし、このダイアフラムの板厚方向に平行な側面に少なくとも一対の第一の電極と圧電体と第二の電極で構成された圧電素子が、上記側面内で上記流路側もしくは上記第一のスリット側のどちらかに偏在して設けられた、流体ポンプ。

IPC (3件)：

F04B 43/04 ,  B81B 3/00 ,  H01L 41/09

FI (5件)：

F04B43/04 B ,  B81B3/00 ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J

Fターム (14件)：

3H077AA00 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE12 ,  3H077EE15 ,  3H077EE23 ,  3H077EE31 ,  3H077EE34 ,  3H077FF03 ,  3H077FF06 ,  3H077FF21 ,  3H077FF36

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 圧電素子,アクチュエータ及びインクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-117671   出願人：松下電器産業株式会社