特許

J-GLOBAL ID：200903080186059939

エリア別検出閾値の設定方法

発明者： 神宮 孝広
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-228830
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045295
出願日： 1991年08月14日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】 隣接チップの比較方法による異物検査装置に対して、ICチップのエリア別に検出閾値を効率的に設定する方法を提供する。【構成】 ICチップの全面に対応した画素メモリMg を有するマップメモリ5b を設け、マップメモリの、任意のエリアに対応する各画素メモリに対して、テストチップによりえられたエリア別の検出閾値を示す2進数をそれぞれ記憶する。隣接チップの検査において、その差分データの各画素信号に対応する2進数を逐次に読出してデコーダ5c により解読し、閾値選択回路5d によりエリア別の検出閾値[Vth]Aを選択して異物検出部4d に設定する。これに対して当該エリアの各画素信号を比較して異物を検出する。エリア別検出閾値には、反射率が特に大きいマットエリアのマップ表示を消去するインヒビット閾値を含む。

請求項（抜粋）：

ウエハの表面に形成された同一パターンを有する複数のICチップを検査対象とし、該ウエハに対してレーザビームを走査し、互いに隣接した2個の前記ICチップの反射光を光センサにより受光し、該光センサの出力した該隣接ICチップの対応する画素信号の差分データを作り、該差分データを検出閾値に比較し、前記各ICチップに付着した異物を検出してマップ表示する異物検査装置において、前記ICチップの全面に対応した画素メモリを有するマップメモリを設け、入力手段により、該マップメモリの前記ICチップの任意のエリアに対応する該各画素メモリに対して、該エリア別の前記検出閾値を示す2進数をそれぞれ記憶し、前記隣接チップの検査において、前記差分データの各画素信号に対応する該2進数を逐次に読出して解読し、該解読された前記エリア別の検出閾値を異物検出部に設定し、該検出閾値に対して該エリアの各画素信号を比較して前記異物を検出することを特徴とする、エリア別検出閾値の設定方法。

IPC (6件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/64 400 ,  H01L 21/66