特許
J-GLOBAL ID：200903080189552997
光学素子の検査・測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-027983
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218132
出願日： 1996年02月15日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】 光学素子の特性全般を定量的に検査・測定することができる光学素子の検査・測定装置を提供する。【解決手段】 微小黒点20が退避位置に移動して正レンズOEが明視野照明され、正レンズOEの像全体の光強度が求められる。また、微小黒点20が照明位置IPに位置して正レンズOEがCCDカメラ60から見て暗視野照明されて、正レンズOEの表面キズなどに起因する散乱光や、正レンズOEでの多重反射により発生するゴースト光が選択的にCCDカメラ60に導光され、散乱光およびゴースト光の光強度が計測される。こうして計測された両光強度の比が、正レンズOEの材料特性やゴースト特性を示す値として求められる。
請求項（抜粋）：
照明光を所定の照明位置に照射する照明光学系と、前記照明位置に位置することで前記照明光を遮蔽する遮蔽物体と、前記照明位置に位置する前記遮蔽物体の像を投影する第1投影手段と、前記第1投影手段と検査・測定対象たる光学素子とを介して第1投影位置に投影される前記遮蔽物体の像よりも小さな径を有するアパーチャを有し、前記投影位置に配置されたアパーチャ板と、前記アパーチャを通過した光を受け、前記光学素子の像を第2投影位置に投影する第2投影手段と、前記第2投影位置に配置され、前記光学素子の像の光強度分布を計測する計測手段と、を備えたことを特徴とする光学素子の検査・測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 D
