特許

J-GLOBAL ID：200903080191837990

流速計

発明者： オリバー ベルベリッグ ,  カイ ノットマイヤー
出願人/特許権者： 株式会社ゼクセル
代理人 (1件)： 安孫子 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-094639
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257822
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 小型化容易で、信頼性が高く、かつ、廉価で、大量生産可能な流速計を提供する。【解決手段】 第1の基板1には、第1の電極4が、第2の基板2には、第2の電極5がそれぞれ間隙を介して対向するように設けてあり、第2の電極5の周囲には、薄膜状に形成された底部3aを有する計測空洞3が形成され、この計測空洞3は、第2の基板2に形成された流体連通路10a,10bを介して外部と連通可能となっており、定常流の流れの中に置かれた際、計測空洞3における圧力と、外部の定常流における圧力との差に応じて第2の電極5が配設された電極配設部9が変位するようになっており、第1及び第2の電極4,5により構成される平板コンデンサの容量値の変化として流速の検出が可能となっている。

請求項（抜粋）：

絶縁性部材からなる平板状の第1の基板と、半導体部材からなる平板状の第2の基板とが接合され、前記第1及び第2の基板の間には、平板コンデンサを構成する第1及び第2の電極が間隙を介して対向配置され、前記第1及び第2の電極の周囲には、薄膜状の底部を有する空洞が環状に形成され、前記空洞は、第1及び第2の基板の間に形成された流体連通路を介して外部に連通されてなり、前記空洞における圧力と外部の圧力との差圧に応じて前記平板コンデンサの容量変化が検出可能に構成されてなること特徴とする流速計。