レーザ干渉測長装置およびその測長誤差補正方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034779
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243807
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【構成】レーザ光を参照光および測長光に分離し、該参照光および測長光の干渉を利用して被測定対象の測長を行なうレーザ干渉測長装置において、前記参照光および測長光が透過する光透過性光学素子として、正の熱膨張係数と負の屈折率温度係数とを有する光学材料、または、負の熱膨張係数と正の屈折率温度係数とを有する光学材料により形成された光学素子を使用したことを特徴とする。【効果】光学素子の温度変化によって生じる測長誤差を大幅に低減することができるため、測長精度を飛躍的に向上させることが可能となる。これにより、超精密加工あるいは超精密計測で必要となるnmオーダの精密測長が高い信頼性で行なうことができる。

請求項（抜粋）：

レーザ光を参照光および測長光に分離し、該参照光および測長光の干渉を利用して被測定対象の測長を行なうレーザ干渉測長装置において、前記参照光および測長光が透過する光透過性光学素子として、正の熱膨張係数と負の屈折率温度係数とを有する光学材料、または、負の熱膨張係数と正の屈折率温度係数とを有する光学材料により形成された光学素子を使用したことを特徴とするレーザ干渉測長装置。

引用特許：

出願人引用 (1件)

干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-313505 出願人：ソニー株式会社

前のページに戻る