逆反射スクリーンを用いた表面検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小杉佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-211352
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075666
出願日： 1994年09月05日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】逆反射スクリーンを用いた表面検査装置において、カメラ12の撮像角度θを大きくしても焦点のずれの少ない鮮明な画像が得られるようにし、欠陥検出感度を高くする。【構成】逆反射スクリーン3を経て冷延鋼板1から反射された反射光をラインセンサカメラ4デ捕らえる。速度計5からの冷延鋼板1の移動速度信号によりラインセンサカメラ4の走査周期を制御し、撮像信号の強度を補正しながら二次元画像を生成する。撮像角度θが大きくても画像のぼけが発生しない。

請求項（抜粋）：

逆反射スクリーンを用いた表面検査装置において、撮像素子が一次元状に並んだ撮像手段と、被検査材の移動速度または被検査材の搬送速度を検出する速度検出手段と、該速度検出手段からの信号により前記撮像手段で撮像した撮像信号を処理する画像処理装置とを備えたことを特徴とする逆反射スクリーンを用いた表面検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G06T 7/00 , G06T 1/00 , G06T 7/60

FI (3件)：

G06F 15/62 400 , G06F 15/64 C , G06F 15/70 350 G

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